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等离子体化学气相沉积法

来源:https://www.xiutupi.com 发布时间:2021-10-07热度:

等离子体化学气相沉积法

等离子体化学气相沉积法是在惰性气氛或反应性气氛下,通过直流放电使气体电离产生高温等离子体,从而使原料熔化和蒸发,蒸汽遇到周围的气体就会冷却或发生反应,从而形成纳米微粒。

由于在惰性气氛下,等离子体温度高,所以采用此法几乎可以制取任何金属的纳米复合微粒。

等离子体化学气相沉积法又可分为直流电弧等离子体法(DC法)、射频等离子体法(RF法)和混合等离子体法。

混合等离子体法是采用RF等离子体与DC等离子体组合的方式来获得超微粒子。

感应线圈产生高频磁场将气体电离,产生RF等离子体,由载气携带的原料经等离子体加热后反应生成超微粒子并附着在冷却壁上。

由于气体或原料进入RF等离子体的空间会使RF等离子弧焰被搅乱,这时通入DC等离子电弧防止RF等离子体受到干扰,使超微粒子的生成更容易。

该方法的主要优点是:
不会有电极物质(熔化或蒸发)混入等离子体中,产品纯度高;反应物质在等离子体空间的停留时间长,可以充分加热和反应;可以使用惰性气体,产品多样化

等离子体化学气相沉积法第1张图

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